Title:
レーザ工程におけるトレンチの深さ及び幅の実時間制御用スポットサイズ及び切削速度のオンザフライ操作法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2011516267
Kind Code:
T
Inventors:
アルペイ, Mohammed, E.
Childers, David
Johansson, Brian
Childers, David
Johansson, Brian
Application Number:
JP2011501976T
Publication Date:
May 26, 2011
Filing Date:
March 24, 2009
Export Citation:
Assignee:
Electro Scientific Indus Trease インコーポレーテッド
International Classes:
B23K26/36; B23K26/06; B23K26/073; B23K26/04; B23K26/00
Attorney, Agent or Firm:
Yusuke Hiraki
Hidekazu Matsumaru
Toshiaki Watanabe
Mitsuo Sekiya
Hidekazu Matsumaru
Toshiaki Watanabe
Mitsuo Sekiya