Title:
気体不感応マスフロー制御システム及び気体不感応マスフロー制御方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019500690
Kind Code:
A
Abstract:
一次導管を通過する気体の質量流量を制御する気体不感応システム及び方法が開示される。本方法は、変化する圧力を有する評価フローを二次導管において発生させ、評価フローの変化する圧力の変化率に基づいて、評価フローの流量の第１の測定値を算出し、気体の組成によって影響をうける評価フローの流量をマスフローメータで計測し、評価フローの流量の第２の測定値を発生させる。調整信号は、第１の測定値と２の測定値との差異に基づいて生成され、気体補正済みフロー信号は、マスフローコントローラの計測フロー信号を調整信号で調整して生成される。気体補正済みフロー信号は、マスフローコントローラによって使用されて、一次導管を通過する気体の流量を制御する。
More Like This:
| WO/2002/071163 | FLUID REGULATION |
| JPS62184510 | MASS FLOW CONTROLLER |
Inventors:
Ryan johnson
Smirnov, Alexei Buoy.
Albright, Patrick
Shii, Jordan
Arun, Nagarajan
Smirnov, Alexei Buoy.
Albright, Patrick
Shii, Jordan
Arun, Nagarajan
Application Number:
JP2018528077A
Publication Date:
January 10, 2019
Filing Date:
December 28, 2016
Export Citation:
Assignee:
Hitachi Metals Co., Ltd.
International Classes:
G05D7/06
Domestic Patent References:
| JPH05308053A | 1993-11-19 |
Foreign References:
| WO2015029890A1 | 2015-03-05 | |||
| US20030149536A1 | 2003-08-07 |
Attorney, Agent or Firm:
Hideno Kono
Nobuo Kono
Nobuo Kono