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Title:
照明システムおよびメトロロジシステム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019511000
Kind Code:
A
Abstract:
メトロロジ装置用の照明システムと、そのような照明システムを含むメトロロジ装置と、が開示される。照明システムは、照明源と、照明源からの放射ビームをフィルタ処理し、１つまたは複数の線形可変フィルタを含むように構成された線形可変フィルタ装置と、を含む。照明システムは、線形可変フィルタ装置で放射ビームをフィルタ処理した後の放射ビームの波長特性の選択的制御を可能にするように動作する。【選択図】図３

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Inventors:
Dewito, Johannes, Matheus, Marie
Fayen, Kim, Gerald
Siven, Anco, Josef, Cornellas
Marsen, Martinus, Geralds, Maria, Johannes
Van de Grosse, Henricus, Martinus, Johannes
Application Number:
JP2018540377A
Publication Date:
April 18, 2019
Filing Date:
February 14, 2017
Export Citation:
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Assignee:
AS M Netherlands B.V.
International Classes:
G03F7/20; G02B5/22; G02B5/30
Domestic Patent References:
JP2005503547A2005-02-03
JPH0534736A1993-02-12
JP2008060546A2008-03-13
Foreign References:
US20140312212A12014-10-23
WO2015101459A12015-07-09
US6700690B12004-03-02
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito



 
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