Title:
金属マスク生産装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2020533173
Kind Code:
A
Abstract:
レーザービームを発生させるレーザー部；前記レーザービームのスポット条件を変更させるビームシェイパー部；選択により前記レーザービームを複数個に分岐させるビームスプリッタ部；前記ビームシェイパー部および前記ビームスプリッタ部を順次通過した前記レーザービームを集光する第１集光レンズ部；および前記第１集光レンズ部を通過した前記レーザービームを再び集光して被加工体に照射させる第２集光レンズ部；を含む金属マスク生産装置を提供する。【選択図】図１
Inventors:
Kim, Sung Ju
Lee, Jin Won
Lee, Song Jae
Park, Hyun Woo
Lee, Jin Won
Lee, Song Jae
Park, Hyun Woo
Application Number:
JP2019561751A
Publication Date:
November 19, 2020
Filing Date:
August 30, 2018
Export Citation:
Assignee:
COWINDST CO., LTD.
International Classes:
B23K26/067; B23K26/064
Attorney, Agent or Firm:
Hitoshi Shinbo