Title:
被試験デバイスを試験するためのプローブシステム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2020536242
Kind Code:
A
Abstract:
被試験デバイスを試験するためのプローブシステムが、本明細書に開示されている。プローブシステムは、上面、反対側の下面、およびプラテン開口部を画定する、プラテンを含む。プローブシステムはまた、被試験デバイスを支持するように構成された支持面を画定する、チャックを含む。プローブシステムはさらに、プラテンの下面から延びる下部エンクロージャと、プラテンの上面から延びる上部エンクロージャと、を含む。上部エンクロージャは、側壁開口部を画定する側壁を含み、側壁およびプラテンは、少なくとも３０度および最大６０度の交角を画定する。プローブシステムはまた、マニピュレータ、プローブシャフトアーム、プローブアセンブリ、テストヘッド、および導電体を含む。【選択図】図１
Inventors:
Christopher storm
Michael e simmons
Brian conrad bolt
Gavin nail fisher
Anthony Road
Kazuki Negishi
Michael e simmons
Brian conrad bolt
Gavin nail fisher
Anthony Road
Kazuki Negishi
Application Number:
JP2020518767A
Publication Date:
December 10, 2020
Filing Date:
September 28, 2018
Export Citation:
Assignee:
Form Factor Beaverton, Inc.
International Classes:
G01R31/26; G01R31/28; H01L21/66
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Sugimura
Mitsutsugu Sugimura
Akiyoshi
Mitsutsugu Sugimura
Akiyoshi