Title:
導電膜層の厚さ測定のための方法、装置およびシステム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2021528648
Kind Code:
A
Abstract:
ウエハ上に堆積した導電膜層の厚さを決定するための方法およびシステムは、ウエハがロボットアームによって輸送されているときに、ウエハ上の導電膜層の電気抵抗測定を実行するための少なくとも２つの渦電流センサと、電気抵抗測定中にウエハの温度変化を決定するための温度センサと、決定された温度変化に基づく量だけ、電気抵抗測定の値を調整するため、ならびに、電気抵抗測定の調整された値、および導電膜層の電気抵抗測定値と対応するそれぞれの厚さとの間の以前に決定された相関を使用して、導電膜層の厚さを決定するための処理装置とを含む。あるいは、導電膜層の厚さを決定するために導電膜層の電気抵抗測定を実行しているときに、ウエハを定常温度に保つこともできる。【選択図】図１
Inventors:
Ukai
Chang Wei Min
One Pay Chi
Mapole
Budiart Edward
Shukun
Egan Todd Jay
Chang Wei Min
One Pay Chi
Mapole
Budiart Edward
Shukun
Egan Todd Jay
Application Number:
JP2020571545A
Publication Date:
October 21, 2021
Filing Date:
June 10, 2019
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
G01B7/06
Domestic Patent References:
| JP2006510024A | 2006-03-23 | |||
| JP2009500829A | 2009-01-08 | |||
| JP2013246051A | 2013-12-09 |
Foreign References:
| US20120274318A1 | 2012-11-01 |
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Takeo Nasu
Kudo Akira
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Takeo Nasu
Kudo Akira