Title:
レチクルローディングシステム及び方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024059637
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】レチクルローディングシステム及び方法を提供することを課題とする。【解決手段】本発明はレチクルローディングシステム及び方法を開示する。本発明のレチクルローディングシステム２００は、レチクルポッド１０を外部環境とロード環境との間で移載する第１ポート２０２と、レチクル保管ポッド１００をロード環境と貯蔵環境との間で移載する第２ポート２０４と、レチクルポッドの収納スペースが、レチクルポッドが下端位置に到着して開いたときにロード環境に露出される第１昇降手段Ａと、レチクル保管ポッドの収納スペースが、レチクル保管ポッドが下端位置に到着して開いたときにロード環境に露出される第２昇降手段Ｂと、ベースが、開かれたレチクルポッドの露出した収納スペースと開かれたレチクル保管ポッドの露出した収納スペースとの間で移載可能であるようにロード環境内で動作可能な挟持機構１９００とを備える。【選択図】図１３
Inventors:
Qiu Inui
Soyawa
Xue Shinmin
Soyawa
Xue Shinmin
Application Number:
JP2024013348A
Publication Date:
May 01, 2024
Filing Date:
January 31, 2024
Export Citation:
Assignee:
GUDENG PRECISION INDUSTRIAL CO.,LTD
International Classes:
H01L21/673; B65D85/48; B65G1/00; G03F1/66
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Fumitaka Tamaki
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Fumitaka Tamaki