Title:
気相前駆体送達システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024065047
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】気相前駆体を送達するための気相前駆体送達システムを提供する。【解決手段】気相堆積装置内に層を堆積させるための気相前駆体を送達するための気相前駆体送達システムが開示されている。気相前駆体送達システムは、ガス出口と、ガス入口と、前駆体を貯蔵するために構築および配置された容器と、容器内に包含された接続チューブとを有する。接続チューブはガス入口に接続されてもよく、ガス入口と流体連通してもよい。例えば垂直炉などの気相堆積装置は、基材上に層を堆積させるためのこのような気相前駆体送達システムを有してもよい。【選択図】図１
Inventors:
Theodorus GM Austel Laken
Application Number:
JP2023182483A
Publication Date:
May 14, 2024
Filing Date:
October 24, 2023
Export Citation:
Assignee:
AS MIP Holding B F
International Classes:
C23C16/448
Attorney, Agent or Firm:
Yasuhiko Murayama
Shinya Mihiro
Tatsuhiko Abe
Shinya Mihiro
Tatsuhiko Abe