高融点金属窒化膜の形成方法 - 東京エレクトロン株式会社

Title:

高融点金属窒化膜の形成方法

Document Type and Number:

Japanese Patent JP4308867

Kind Code:

B2

Inventors:

Suzuki Toshiya
Takayuki Oba
Jinnai Shinpei
Seishi Murakami

Application Number:

JP2007182342A

Publication Date:

August 05, 2009

Filing Date:

July 11, 2007

Export Citation:

Assignee:

東京エレクトロン株式会社

International Classes:

H01L21/285; C23C16/34; H01L21/28; H01L21/768

Domestic Patent References:

Attorney, Agent or Firm:

Keizo Okamoto

Previous Patent: 情報記録媒体

Next Patent: ファイバセンシングシステム