ガスバリア性フィルムの製造方法およびその製造装置

Title:

ガスバリア性フィルムの製造方法およびその製造装置

Document Type and Number:

Japanese Patent JP4666607

Kind Code:

B2

Inventors:

Hiroaki Kawamura
Masatoshi Sato

Application Number:

JP2005186734A

Publication Date:

April 06, 2011

Filing Date:

June 27, 2005

Export Citation:

Assignee:

ULVAC, Inc.

International Classes:

C23C14/24; B32B9/00; C23C14/08

Domestic Patent References:

Attorney, Agent or Firm:

Junichi Omori
Ori Akira
Yasuo Iisaka

Previous Patent: カルシウム塊を含む有機性廃棄物の処理システム

Next Patent: 電極構造の製造方法