Title:
真空蒸着装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5620747
Kind Code:
B2
Inventors:
木津 光右
古内 哲哉
関本 和彦
小澤 信一
渡部 雄介
古内 哲哉
関本 和彦
小澤 信一
渡部 雄介
Application Number:
JP2010184381A
Publication Date:
November 05, 2014
Filing Date:
August 19, 2010
Export Citation:
Assignee:
三菱伸銅株式会社
International Classes:
C23C14/24
Attorney, Agent or Firm:
Aoyama Masakazu