Title:
真空処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5622477
Kind Code:
B2
Inventors:
笹川 英四郎
竹内 良昭
宮園 直之
大坪 栄一郎
中尾 禎子
竹内 良昭
宮園 直之
大坪 栄一郎
中尾 禎子
Application Number:
JP2010178108A
Publication Date:
November 12, 2014
Filing Date:
August 06, 2010
Export Citation:
Assignee:
三菱重工業株式会社
International Classes:
H05H1/46; C23C16/505; H01L21/205
Attorney, Agent or Firm:
Takaharu Fujita
Ueda Kunio
Ueda Kunio