Title:
出力する高周波電力の経時変化パターンを任意に設定可能な高周波電源
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6928407
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】出力する高周波電力の電力値の経時変化パターンをユーザが任意に設定することが可能な高周波電源を提供する。【解決手段】本発明に係る高周波電源１０Ａは、インピーダンス整合器３０を介して高周波電力を負荷４０に出力する出力部２０と、ユーザによって作成された指令データを格納するデータ格納部１３Ａと、データ格納部１３Ａに格納された指令データに基づいて出力部２０およびインピーダンス整合器３０を制御する制御部１２Ａとを備える。指令データを構成する複数のレコードのそれぞれは、出力すべき高周波電力の電力値に関する電力指令データと、インピーダンス整合器３０の動作の有無に関する整合動作指令データとを含み、制御部は、電力指令データに基づいて生成した電力信号を出力部に送るとともに、整合動作指令データに基づいて生成した同期信号をインピーダンス整合器に送る。【選択図】図１
Inventors:
Toshihiro Takahara
Takashi Kishi
Katsunori Tanaka
Takashi Kishi
Katsunori Tanaka
Application Number:
JP2021041256A
Publication Date:
September 01, 2021
Filing Date:
March 15, 2021
Export Citation:
Assignee:
Adtec Plasma Technology Co., Ltd.
International Classes:
H05H1/46
Domestic Patent References:
| JP2017512355A | 2017-05-18 | |||
| JP2020156043A | 2020-09-24 | |||
| JP2019036483A | 2019-03-07 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Business Corporation Minori Patent Office