Title:
めっき装置及び気泡除去方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6944091
Kind Code:
B1
Abstract:
抵抗体に滞留した気泡を除去することができる技術を提供する。めっき装置１０００は、めっき液Ｐｓを貯留するとともに抵抗体１２が内部に配置されためっき槽１０と、抵抗体よりも上方に配置されて、ダミー基板Ｗｆｘを保持する基板ホルダ３０と、基板ホルダを回転させる回転機構４０と、基板ホルダを昇降させる昇降機構５０と、を備え、ダミー基板の下面には、当該下面から下方に突出した少なくとも一つの凸部６０が設けられ、基板ホルダは、ダミー基板の下面の外周縁よりも下方に突出したリング３１を有し、凸部の下面は、リングの下面よりも下方に位置し、昇降機構が基板ホルダを下降させてダミー基板の凸部を抵抗体よりも上方に位置させた状態で且つダミー基板の凸部をめっき槽のめっき液に浸漬させた状態で、回転機構が基板ホルダを回転させるように構成されている。
Inventors:
Kazuhito Tsuji
Application Number:
JP2021538049A
Publication Date:
October 06, 2021
Filing Date:
March 10, 2021
Export Citation:
Assignee:
Ebara Corporation
International Classes:
C25D17/06; C25D7/12; C25D21/10
Domestic Patent References:
| JP2006265738A | 2006-10-05 | |||
| JPS5144568A | 1976-04-16 | |||
| JPH06128791A | 1994-05-10 | |||
| JPH11229192A | 1999-08-24 | |||
| JP6899041B1 | 2021-07-07 | |||
| JP2013112842A | 2013-06-10 |
Attorney, Agent or Firm:
Toru Miyamae
Yukio Kanegae
Makoto Watanabe
Yuki Yamada
Yukio Kanegae
Makoto Watanabe
Yuki Yamada