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Title:
窒化物バルク単結晶層を用いる発光素子構造
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2003043150
Kind Code:
A1
Abstract:
高出力タイプの窒化物発光素子を提供するもので、n型窒化物半導体層とp型窒化物半導体層との間に、活性層を含む窒化物発光素子において、上記基板がガリウム含有窒化物のバルク単結晶から切り出され、欠陥密度が105/cm2以下であるエピタキシャル成長面を有し、六方晶のC軸に平行なエピタキシャル成長のためのA面またはM面を備えることができ、該面の上に直接上記n型半導体層が積層されてなる。前記活性層がInを含む窒化物半導体からなる場合は活性層に損傷を与えない低温で単結晶AlxGa1−xN(0≦x≦1)からなる保護膜を形成することができる。

Inventors:
ロベルト・ドヴィリニスキ
ロマン・ドラジニスキ
イエジ・ガルチニスキ
レシェック・シェシュプトフスキ
神原 康雄
Application Number:
JP2003544869A
Publication Date:
March 10, 2005
Filing Date:
October 28, 2002
Export Citation:
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Assignee:
アンモノ・スプウカ・ジ・オグラニチョノン・オドポヴィエドニアウノシツィオンAMMONO Sp.zo.o.
日亜化学工業株式会社
International Classes:
H01S5/323; C30B7/00; C30B7/10; C30B9/00; C30B29/40; H01L21/205; H01L21/318; H01L33/00; H01S5/00; H01S5/16; H01S5/02; H01S5/028; H01S5/22; H01S5/32; H01S5/343