Title:
形状測定装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2005052503
Kind Code:
A1
Abstract:
形状測定装置１は、セグメントが複数列並べられて接合された被測定物１を一方向に相対的に移動させながら被測定物の形状を測定する。セグメントの各列に対応して設けられ、上記相対的な移動に伴って被測定物の端面１ａ上を転動しながら端面１ａの凹凸に倣って変位するローラ３１と、各ローラ３１に対応して設けられ、ローラ３１の変位量を検出する検出手段３５と、検出手段３５が検出したローラ３１の変位量に基づいて被測定物１の形状データを算出する演算手段３７とを備える。形状測定装置１は、セグメントが列状となって接合されているＤＰＦ等の被測定物の形状を正確に、且つ迅速に測定することが出来る。
Inventors:
Yoshihiro Sato
Masayoshi Yasui
Akihiro Mizutani
Masayoshi Yasui
Akihiro Mizutani
Application Number:
JP2005515757A
Publication Date:
June 21, 2007
Filing Date:
November 16, 2004
Export Citation:
Assignee:
Nippon Insulator Co., Ltd.
International Classes:
G01B5/20; G01B5/207
Domestic Patent References:
| JPS498271A | 1974-01-24 | |||
| JPS5737406U | 1982-02-27 | |||
| JPH11160006A | 1999-06-18 |
Attorney, Agent or Firm:
Ippei Watanabe