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Title:
プラズマ処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2006008889
Kind Code:
A1
Abstract:
処理室（１０）と、処理室（１０）内に設けられ、互いに対向配置された第１電極部（５）及び第２電極部（１１）と、第１電極部（５）の第２電極部（１１）側に設けられ、第１電極部（５）を保護する石英板（１３）とを備え、第１電極部（５）及び第２電極部（１１）の間にプラズマを発生させて、処理室（１０）内の反応ガスを励起することにより、第２電極部（１１）の第１電極部（５）側に設けられる被処理物をプラズマ処理するプラズマ処理装置であって、石英板（１３）は、第２電極部（１１）側の表面が粗面に形成されている。

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Inventors:
Sugada Masaru
Akira Itani
Akihito Isobe
Kenichi Masamura
Application Number:
JP2006528459A
Publication Date:
May 01, 2008
Filing Date:
June 10, 2005
Export Citation:
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Assignee:
Sharp Corporation
International Classes:
H01L21/3065
Attorney, Agent or Firm:
Hiroshi Maeda
Yuji Takeuchi



 
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