Title:
力学量センサおよびその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2008062705
Kind Code:
A1
Abstract:
力学量センサが、開口を有する固定部と、この開口内に配置され、かつ前記固定部に対して変位する変位部と、前記固定部と前記変位部とを接続する接続部とを有る第１の構造体と、前記変位部に接合される重量部と、前記重量部を囲んで配置され、かつ前記固定部に接合される台座とを有し、かつ前記第１の構造体に積層して配置される第２の構造体と、前記固定部に接続されて前記第１の構造体に積層配置される第１の基体と、前記台座に接続されて前記第２の構造体に積層配置される第２の基体とを具備し、前記重量部が、前記第１の構造体の作成後、かつ前記第２の基体と前記第２の構造体との接合前に、厚さの調整がなされている。
Inventors:
Kiyokazu Takeshita
Kazuhiko Aida
Kazuhiko Aida
Application Number:
JP2008545370A
Publication Date:
March 04, 2010
Filing Date:
November 15, 2007
Export Citation:
Assignee:
Dai Nippon Printing Co.,Ltd.
International Classes:
G01C19/56; G01P15/125; G01P15/18
Domestic Patent References:
| JP2001280971A | 2001-10-10 | |||
| JP2003329702A | 2003-11-19 | |||
| JP2004226085A | 2004-08-12 | |||
| JP2002350138A | 2002-12-04 | |||
| JP2005249454A | 2005-09-15 | |||
| JP2005345294A | 2005-12-15 | |||
| JP2003347883A | 2003-12-05 | |||
| JPH0798327A | 1995-04-11 |
Attorney, Agent or Firm:
Saichi Suyama
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