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Title:
エネルギー分析器、２次元表示型エネルギー分析器および光電子顕微鏡
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2008114684
Kind Code:
A1
Abstract:
安価、かつ、簡易な構成でエネルギー分析を行うエネルギー分析器、２次元表示型エネルギー分析器および光電子顕微鏡を提供する。エネルギー分析器（１）は、所定物面位置から一定の開き角をもって出射された電子またはイオンビーム（以下、ビーム）から、パスエネルギーＥを有するビームを選別するエネルギー分析器であって、前記ビームを取り込み、集束させる広角電子レンズ（２）と、広角電子レンズ（２）の出射口に設けられ、かつ、前記所定のエネルギーを有するビームが集束する集束点と同位置に設けられた貫通孔Ａが形成された第１アパチャー（３）とを備える。

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Inventors:
Hiroshi Daimon
Toss Laslo
Hiroyuki Matsuda
Application Number:
JP2009505171A
Publication Date:
July 01, 2010
Filing Date:
March 13, 2008
Export Citation:
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Assignee:
Nara Institute of Science and Technology
International Classes:
H01J49/48; H01J37/05; H01J37/285
Domestic Patent References:
JPS4832589A1973-04-28
JPS60202649A1985-10-14
JPS58216352A1983-12-16
JPS59123153A1984-07-16
Other References:
JPN6012009122; Ｈ．Ｍａｔｓｕｄａ　ｅｔ．ａｌ．: '"Ａｐｐｒｏａｃｈ　ｆｏｒ　ｓｉｍｕｌｔａｎｅｏｕｓ　ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ　ｏｆ　ｔｗｏ-ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ　ａｎｇｕｌａｒ　ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ　ｏｆ　ｃｈａｒｇｅｄ　ｐａｒｔｉｃｌｅｓ：' ＰＨＹＳＩＣＡＬ　ＲＥＶＩＥＷ　Ｅ ｖｏｌ．７１，　ｎｏ．０６６５０３, 200506
Attorney, Agent or Firm:
Kenzo Hara International Patent Office



 
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