Title:
スパッタリングによる成膜方法とその装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2009028055
Kind Code:
A
Inventors:
アバラ アインシタイン Noel
Tetsuya Endo
Tetsuya Endo
Application Number:
JP2007066750W
Publication Date:
March 05, 2009
Filing Date:
August 29, 2007
Export Citation:
Assignee:
Canon ANELVA Corporation
International Classes:
C23C14/34
Attorney, Agent or Firm:
三山 勝巳
加藤 伸晃
岡部 正夫
岡部 讓
朝日 伸光
加藤 伸晃
岡部 正夫
岡部 讓
朝日 伸光