Title:
研磨ヘッド及び研磨装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2010023829
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、少なくとも、環状の剛性リングと、該剛性リングに均一に張力で接着されたラバー膜と、剛性リングに結合され、ラバー膜と剛性リングとともに空間部を形成する中板と、ラバー膜の下面部の周辺部に剛性リングと同心状に配設された環状のテンプレートと、空間部の圧力を変化させる圧力調整機構とを具備し、空間部が、剛性リングと同心の少なくとも１つの環状の壁により仕切られて、複数の密閉空間が形成され、前記環状の壁により仕切られた複数の密閉空間のうち内側の少なくとも１つの密閉空間の外径が、ワークの平坦保証領域径以上であるように形成され、圧力調整機構は、複数の密閉空間内の圧力をそれぞれ独立に調整するものであることを特徴とする研磨ヘッドである。
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Inventors:
Masumura Shou
Hiromasa Hashimoto
Koji Morita
Yoshimi Kishida
Arakawa Satoru
Hiromasa Hashimoto
Koji Morita
Yoshimi Kishida
Arakawa Satoru
Application Number:
JP2010526516A
Publication Date:
January 26, 2012
Filing Date:
August 07, 2009
Export Citation:
Assignee:
Shin-Etsu Semiconductor Co., Ltd.
Fujikoshi Machine Industry Co., Ltd.
Fujikoshi Machine Industry Co., Ltd.
International Classes:
B24B37/00; B24B37/30; B24B37/005; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Mikio Yoshimiya