Title:
測定装置及び測定方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2015132878
Kind Code:
A1
Abstract:
測定装置（１）は、レーザー光（Ｌｉ）を複数の光束（Ｌｄ１，Ｌｄ２）に分離し、複数の光束を互いに被計測対象（４００）の異なる部分（４０１，４０２）に異なる入射角で照射する分離照射手段（２００）と、複数の光束が被計測対象で散乱された散乱光（Ｌｓ１，Ｌｓ２）を受光する受光手段（５００）とを備える。このような測定装置によれば、レーザー光の照射による被計測対象のダメージを低減しつつ、好適に測定を行うことが可能である。
Inventors:
Ikuya Kikuchi
Atsuya Ito
Atsuya Ito
Application Number:
JP2016505980A
Publication Date:
March 30, 2017
Filing Date:
March 04, 2014
Export Citation:
Assignee:
Pioneer Corporation
International Classes:
G01F1/66; G01F1/00; G01P3/36; G01P5/26; G01S17/58
Domestic Patent References:
| JPH0425787A | 1992-01-29 | |||
| JP2012098169A | 2012-05-24 |
Attorney, Agent or Firm:
Tatsuo Egami
Satoshi Nakamura
Satoshi Nakamura