Title:
テクスチャ構造の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018180765
Kind Code:
A1
Abstract:
簡素にテクスチャ構造を得ることが可能なテクスチャ構造の製造方法を提供する。テクスチャ構造の製造方法は、基材の一主表面に、ランダムに分布するナノ構造体を含む層を成長させ、上記ナノ構造体を埋め込んだ光散乱体を形成し、上記基材及び上記ナノ構造体を含む層の一部又は全部を除去して上記光散乱体の表面を露出させる。
Inventors:
Tomo Tanaka
Shunsuke Okouchi
Shunsuke Okouchi
Application Number:
JP2019509589A
Publication Date:
February 13, 2020
Filing Date:
March 20, 2018
Export Citation:
Assignee:
NEC
International Classes:
H01L27/146; H01L31/0236; H01L31/10
Attorney, Agent or Firm:
Masahiko Desk
Naoki Shimosaka
Naoki Shimosaka