Title:
カーボンナノチューブを使用したボロメータ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024032646
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】低抵抗なボロメータおよびその製造方法を提供する。【解決手段】基板上に設けられた２つの電極と、カーボンナノチューブを含むボロメータ膜とを備えるボロメータであって、ボロメータ膜は、２つの電極の上面の領域、２つの電極の電極壁に接する領域、および基板上の２つの電極間の領域を繋ぐように設けられ、ボロメータ膜の電極壁に接する領域の面積密度が基板上の電極間の領域の面積密度以下、あるいは、ボロメータ膜の電極壁に接する領域の膜厚が基板上の電極間の領域の膜厚以下である、ボロメータに関する。【選択図】 図１
Inventors:
Mayumi Kosaka
Application Number:
JP2023080876A
Publication Date:
March 12, 2024
Filing Date:
May 16, 2023
Export Citation:
Assignee:
NEC
International Classes:
H10N15/00
Attorney, Agent or Firm:
Katsuhiro Ito