Title:
炭素膜および炭素膜構造
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4408891
Kind Code:
B2
Inventors:
Hirooki Wang
Akio Hiraki
Haba Houki
Akio Hiraki
Haba Houki
Application Number:
JP2006341254A
Publication Date:
February 03, 2010
Filing Date:
December 19, 2006
Export Citation:
Assignee:
Life Technology Institute Co., Ltd.
International Classes:
C01B31/02; B82B1/00; C23C16/26; H01J1/304
Domestic Patent References:
| JP2004135668A | ||||
| JP2000090813A | ||||
| JP2005150091A | ||||
| JP2005206936A | ||||
| JP2004243490A | ||||
| JP2002308612A |
Foreign References:
| WO2005110594A1 |
Other References:
田中一義,化学フロンティア2 カーボンナノチューブ - ナノデバイスへの挑戦,日本,(株)化学同人,2001年 1月30日,第1版第1刷,176、177頁
Attorney, Agent or Firm:
Yu Koyama
Kazuhide Okada
Kazuhide Okada