Title:
カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024022557
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】良好なＣＤ均一性を有するレジストパターンを製造することができるカルボン酸塩等及びレジスト組成物を提供する。【解決手段】特定の構造を有するカルボン酸塩又は該塩に由来する構造単位を有する樹脂によるカルボン酸発生剤及びレジスト組成物。【選択図】なし
Inventors:
Wataru Nojo
Issei Kitamura
Koji Ichikawa
Issei Kitamura
Koji Ichikawa
Application Number:
JP2023126640A
Publication Date:
February 16, 2024
Filing Date:
August 02, 2023
Export Citation:
Assignee:
Sumitomo Chemical Co., Ltd.
International Classes:
G03F7/004; C07C69/54; C07D333/76; C07D409/12; C08F12/24; C08F20/10; C09K3/00; G03F7/038; G03F7/039; G03F7/20
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Shinju Global IP