Title:
クリーンルーム用空調システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024042625
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】エネルギー効率のよいクリーンルーム用空調システムを提供する。【解決手段】 クリーンルーム用空調システム２は、温度を調節するための温度調節装置１０と、絶対湿度を調節するための湿度調節装置２０と、空気に含まれる埃等を除去するフィルター３０と、圧力を調節するためのダンパー５０と、温度センサ６１と、湿度センサ６２と、クリーン度センサ６３と、各装置を制御する制御装置９０と、を備える。湿度調節装置２０は、外気を取り込んで所定の温度や湿度に調節した後、クリーンルームＣＲへ供給する。制御対象空間の絶対湿度を調節するためのものであり、天井裏ＡＴに設けられた湿度調節用室内機２２を備える。フィルター３０は、温度調節用室内機１２の内気送出口１２Ｂに設けられる。ダンパー５０は、クリーンルームＣＲの気圧を調節するためのものであり、躯体ＳＴの壁ＳＴ３に設けられる。【選択図】図１
Inventors:
Hirofumi Arai
Tetsuo Sato
Yudai Uchida
Tetsuo Sato
Yudai Uchida
Application Number:
JP2022147476A
Publication Date:
March 28, 2024
Filing Date:
September 15, 2022
Export Citation:
Assignee:
Daiichi Central Equipment Co., Ltd.
International Classes:
F24F3/167; F24F1/0035; F24F1/0047; F24F3/14; F24F7/06; F24F11/72; F24F11/80
Attorney, Agent or Firm:
Natsuki Kameyama
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