Title:
同軸透過型整列結像システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023540683
Kind Code:
A
Abstract:
本開示の複数の態様は結像システムも提供する。例えば、結像システムにおいて、第１の光源は第１の波長を有する第１の光ビームを生成することができ、第２の光源は第２の波長を有する第２の光ビームを生成することができ、第２の光ビームは、ウェハの厚さの少なくとも一部を通過するのに充分な出力を有し、整列モジュールは、第２の光ビームを第１の光ビームと同軸的に整列することができ、同軸モジュールは、同軸的に整列された第１及び第２の光ビームを、ウェハの表側に配置された第１のパターン及び第１のパターンの下側に配置された第２のパターンに各々焦点化させることができ、画像取得モジュールは、第１のパターンの第１の画像及び第２パターンの第２の画像を取得することができる。第２の画像は、量子トンネル結像又は赤外（ＩＲ）透過結像により取得することができる。
Inventors:
Devilliers, Anton Jay.
Shepith, Anthony Earl.
Conklin, David
Shepith, Anthony Earl.
Conklin, David
Application Number:
JP2023509488A
Publication Date:
September 26, 2023
Filing Date:
August 17, 2021
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
G03F9/00
Attorney, Agent or Firm:
Tadashige Ito
Tadahiko Ito
Tadahiko Ito