Title:
クライオポンプ性能監視
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023552106
Kind Code:
A
Abstract:
クライオポンプ（５）の性能を監視する方法、性能を監視する回路（１４）、及びクライオポンプ（５）が開示される。この方法は、再生サイクルの完了後に、所定の条件下で上記クライオポンプの性能を試験する所定の試験ルーチンを実行するように上記クライオポンプ（５）を制御するステップと、上記クライオポンプ（５）の性能を示すデータを収集するために上記所定の試験ルーチン中に上記クライオポンプを監視するステップと、上記監視中に収集されたデータを格納するステップとを含む。【選択図】図１
Inventors:
casero john
collins mark steven
young charles hamilton
collins mark steven
young charles hamilton
Application Number:
JP2023531008A
Publication Date:
December 14, 2023
Filing Date:
November 17, 2021
Export Citation:
Assignee:
Edwards Vacuum Limited Liability Company
International Classes:
F04B51/00; F04B37/08; F04B49/06; F04B49/10
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Kazunari Tanzawa
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Kazunari Tanzawa