Title:
Defect inspection device
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6039119
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】金属の鏡面や、透明フィルムとともにヘアラインのように拡散性のある金属の表面であっても、微細な欠陥を検査することができる欠陥検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】被検査対象Ｓに向けて直線状の光を放出する投光手段１０と、この光を、被検査対象Ｓを経由して受光する撮影手段２０と、が備えられた欠陥検査装置１であって、投光手段には、光源１１と、遮光部材１５と、が備えられており、遮光部材１５に設けられている複数の光通過孔１７ｅを通過して、被検査対象Ｓを経由した光が全て撮影手段２０にあるレンズ２２に集光されるように形成されている。この構成により、被検査対象Ｓの一の部分に照射させられる光が、あらかじめ定められた光通過孔１７ｅを通過した光のみに制限することができ、表面にある微細な欠陥を検査することができる。【選択図】図１
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Inventors:
Suzuki Masahiro
Takuji Onishi
Takuji Onishi
Application Number:
JP2016031879A
Publication Date:
December 07, 2016
Filing Date:
February 23, 2016
Export Citation:
Assignee:
Hutech Co., Ltd.
International Classes:
G01N21/84; G01N21/892; G01N21/896
Domestic Patent References:
| JP2006524806A | 2006-11-02 | |||
| JP2014122825A | 2014-07-03 | |||
| JP2013205041A | 2013-10-07 | |||
| JP2013036948A | 2013-02-21 | |||
| JPS6488238A | 1989-04-03 | |||
| JP2006524806A | 2006-11-02 | |||
| JP2014122825A | 2014-07-03 | |||
| JP2013205041A | 2013-10-07 |
Foreign References:
| US6082885A | 2000-07-04 | |||
| US5873645A | 1999-02-23 | |||
| US6082885A | 2000-07-04 | |||
| US5873645A | 1999-02-23 |
Attorney, Agent or Firm:
Yamauchi Patent Office
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