Title:
電子線適用装置および電子線適用装置における電子ビームの射出方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6722958
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】フォトカソードを備えた電子銃に好適な電子線適用装置および該電子線適用装置における電子ビームの射出方法を提供する。【解決手段】電子銃部分１ａと、本体部分１ｂと、制御部１ｃを含む電子線適用装置であって、電子銃部分１ａは光源２と光源２からの励起光を受光することで電子ビームを射出するフォトカソード３とアノード４を含み、本体部分１ｂは電子銃部分１ａから照射された電子ビームを集束するオブジェクティブレンズ７を含み、制御部１ｃはフォトカソード３から射出される電子ビームのサイズに応じてオブジェクティブレンズ７の集束強度を制御する。【選択図】図２
Inventors:
Tomohiro Nishitani
Application Number:
JP2019209244A
Publication Date:
July 15, 2020
Filing Date:
November 20, 2019
Export Citation:
Assignee:
Photo electron soul Co., Ltd.
International Classes:
H01J37/073; G03F7/20; G21K1/00; H01J37/06; H01J37/12; H01J37/305; H01L21/027; H01L21/66
Domestic Patent References:
| JP2213037A | ||||
| JP11273601A | ||||
| JP53003774A | ||||
| JP62008436A | ||||
| JP2002539633A | ||||
| JP2014512069A | ||||
| JP6466020B1 | ||||
| JP6578529B1 |
Foreign References:
| WO2008086527A2 | ||||
| WO2017168554A1 |
Attorney, Agent or Firm:
Seiji Matsumoto