Title:
平面光学装置用封入材料
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023539842
Kind Code:
A
Abstract:
本明細書に記載される実施形態は、平面光学装置及び平面光学装置用の封入材料に関する。１つ又は複数の実施形態は、上に第１の複数の支柱の第１の配列が形成されている基板を含む。第１の複数の支柱の第１の配列は、高さｈ及び横方向距離ｄを有する支柱を含む。第１の複数の支柱の第１の配列は、第１の複数の支柱の隣り合う支柱間の距離に相当する間隙ｇを含む。間隙ｇと高さｈとのアスペクト比は、約１：１と約１：２０との間である。第１の複数の支柱の第１の配列の上に、第１の接着促進材が配置される。第１の接着促進材の上に、第１の封入層が配置される。第１の封入層は、第１の複数の支柱の隣り合う支柱間の間隙ｇを充填する。第１の封入層は、フルオロポリマーを含む。【選択図】図１Ａ
Inventors:
Sen, Slobona
Roy, Tapashley
Goradia, Preruna Sonsaria
Visser, Robert Jay.
Roy, Tapashley
Goradia, Preruna Sonsaria
Visser, Robert Jay.
Application Number:
JP2023512648A
Publication Date:
September 20, 2023
Filing Date:
July 28, 2021
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
B05C3/02; G02B5/00; B05C9/14; B05C11/08; G02B1/04
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation
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