Title:
特徴量推定方法、推定プログラム、及び、特徴量推定装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024027989
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】基板の表面における形状特徴量の推定精度を向上させる特徴量推定方法、推定プログラム及び特徴量推定装置を提供する。【解決手段】半導体製造用の処理が施された後の基板の表面における形状特徴量を推定する方法であって、複数のパラメータを有する複数の事前処理条件のそれぞれに従って、事前処理が施された基板の表面における形状特徴量の実測データに基づいて、対象パラメータと形状特徴量との関係を表す複数の回帰モデルを生成することと、複数の回帰モデルのそれぞれについて、形状特徴量の推定結果の信頼度を表す指標値を算出することと、複数の事前処理条件の設定方法の適性を評価することと、指標値の算出結果と、設定方法の適性の評価結果とに基づいて、複数の回帰モデルの中から選択モデルとして選択することと、選択モデルを利用して、対象パラメータの任意の値に対応する形状特徴量の推定値を算出することと、を含む。【選択図】図１１
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Inventors:
Yusuke Miyakubo
Application Number:
JP2022131261A
Publication Date:
March 01, 2024
Filing Date:
August 19, 2022
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
G06N20/00; H01L21/02
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiki Hasegawa
Yoshiki Kuroki
Junji Kashiwaoka
Shigeki Matsuo
Mao Nakamura
Yoshiki Kuroki
Junji Kashiwaoka
Shigeki Matsuo
Mao Nakamura
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