Title:
レーザシステム用シロキサン改善
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022553942
Kind Code:
A
Abstract:
様々な実施の形態において、レーザ共振器等のレーザシステムの部品の内部におけるシロキサン材料の濃度及び蓄積は、複数の異なる部品の内部に、低いシロキサンレベルを有するガスを直列または並列に供給する改善システムを使用することで、減少または最小化される。
Inventors:
Rockman, Brian
Jou, Wan-Ron
Villarreal-Saused, Francisco
Chan, Bien
Jou, Wan-Ron
Villarreal-Saused, Francisco
Chan, Bien
Application Number:
JP2022523046A
Publication Date:
December 27, 2022
Filing Date:
October 15, 2020
Export Citation:
Assignee:
Panasonic IP Management Co., Ltd.
International Classes:
H01S5/14; B01D53/04; B01D53/14; B01D53/26; H01S3/00; H01S3/02; H01S3/23
Domestic Patent References:
| JP2004126001A | 2004-04-22 | |||
| JP2001358384A | 2001-12-26 | |||
| JP2007088066A | 2007-04-05 | |||
| JP2003258337A | 2003-09-12 | |||
| JPS56168818A | 1981-12-25 | |||
| JP2004128058A | 2004-04-22 |
Foreign References:
| US20130340616A1 | 2013-12-26 | |||
| US20180252929A1 | 2018-09-06 |
Attorney, Agent or Firm:
Hiroshi Okabe
Kenichi Nakatani
Kenichi Nakatani
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