Title:
検査方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024005061
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】コンタクト基板を効率よく再利用可能な検査方法を提供する。【解決手段】第１基板が備える検査対象を検査する検査方法であって、（ａ）第１電極を有する前記第１基板を準備する工程と、（ｂ）第２電極、第３電極及び接合部と、第３電極と、を有する第２基板を準備する工程と、（ｃ）前記接合部を間に挟んで前記第１基板と前記第２基板とを接着剤により接合することにより、前記第１電極と前記第２電極とを電気的に接触させると共に前記第１基板と前記第２基板との間に密閉空間を形成する工程と、（ｄ）前記接着剤を硬化させる工程と、（ｅ）前記検査対象を検査する工程と、（ｆ）前記第２基板から前記第１基板を剥離する工程と、を含み、前記（ｆ）の工程において、前記第２基板から前記第１基板を剥離する際に、前記接着剤の前記第１基板に対する接着強度は、前記接着剤の前記第２基板に対する接着強度より高い検査方法。【選択図】図２
Inventors:
Hiroyuki Nakayama
Application Number:
JP2022105056A
Publication Date:
January 17, 2024
Filing Date:
June 29, 2022
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
H01L21/66; G01R31/28
Attorney, Agent or Firm:
Tadashige Ito
Tadahiko Ito
Tadahiko Ito