絶縁膜形成方法、及び絶縁膜形成装置

Title:

絶縁膜形成方法、及び絶縁膜形成装置

Document Type and Number:

Japanese Patent JP5631728

Kind Code:

B2

Inventors:

畠中正信
原田雅通
柴田明宏
石川道夫

Application Number:

JP2010292785A

Publication Date:

November 26, 2014

Filing Date:

December 28, 2010

Export Citation:

Assignee:

株式会社アルバック

International Classes:

H01L21/316; C01B35/12; C23C16/40; C23C16/455; H01L21/31; H01L21/3205; H01L21/768; H01L23/522; H01L23/532

Attorney, Agent or Firm:

Hironori Onda
Makoto Onda

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