多面反射鏡の製造方法

Title:

多面反射鏡の製造方法

Document Type and Number:

Japanese Patent JP4055432

Kind Code:

B2

Inventors:

Takino Hideo
Yoshiuchi Takeuchi
Yoshinori Hashimoto
Tomohiko Kawai
Kiyoshi Sawada

Application Number:

JP2002049498A

Publication Date:

March 05, 2008

Filing Date:

February 26, 2002

Export Citation:

Assignee:

NIKON CORPORATION

International Classes:

B23C3/16; B23C5/10

Domestic Patent References:

JP2000162414A
JP59171016U

Attorney, Agent or Firm:

Yoshihiro Fujimoto

Previous Patent: 印刷装置、補正用パターン、コンピュータプログラム、及び、コンピュー�...

Next Patent: 嵩高い置換基を有するシリル（メタ）アクリレート化合物及びその製造方�...