Title:
光プローブの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3554233
Kind Code:
B2
Abstract:
An optical probe which comprises a substrate, an elastic body supported by the substrate and having a free end, a projection having a micro-aperture and arranged at the free end of the elastic body, and a refractive index micro-lens also arranged at the free end of the elastic body and adapted to focus light to the micro-aperture.
Inventors:
Yasuhiro Shimada
Takayuki Yagi
Takayuki Teshima
Ryo Kuroda
Takayuki Yagi
Takayuki Teshima
Ryo Kuroda
Application Number:
JP28150399A
Publication Date:
August 18, 2004
Filing Date:
October 01, 1999
Export Citation:
Assignee:
Canon Inc
International Classes:
G11B7/135; G01B11/30; G01B21/30; G01Q60/22; G01Q80/00; G01Q10/00; (IPC1-7): G01N13/14; G12B21/06
Domestic Patent References:
| JP8334521A | ||||
| JP10197542A | ||||
| JP6331805A | ||||
| JP7311206A | ||||
| JP9257811A | ||||
| JP9269329A | ||||
| JP10123154A | ||||
| JP3023085B2 | ||||
| JP10506457A |
Foreign References:
| EP0860726A1 | ||||
| WO1996027880A1 |
Other References:
L. P. Ghislain and V. B. Elings,"Near-field scanning solid immersion microscope",Applied Physics Letters,米国,American Institute of Physics,1998年 6月 1日,第73巻、第22号,p.2779-2781
興梠元伸、八井崇、石村繁、筒井一生、大津元一、李明馥、阿刀田伸史,“平面プローブアレイによるトラッキングレス超高速・光再生方式”,近接場光学研究グループ研究討論会予稿集,日本,応用物理学会・日本光学会・近接場光学研究グループ,1997年 7月 3日,第6回,p.73-78
興梠元伸、八井崇、石村繁、筒井一生、大津元一、李明馥、阿刀田伸史,“平面プローブアレイによるトラッキングレス超高速・光再生方式”,近接場光学研究グループ研究討論会予稿集,日本,応用物理学会・日本光学会・近接場光学研究グループ,1997年 7月 3日,第6回,p.73-78
Attorney, Agent or Firm:
Tatsuya Nagao