Title:
配線基板の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024062685
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】ガラス基板へのダメージを抑制しつつ、安定的にガラス基板から支持体を剥離する。【解決手段】配線基板の製造方法は、互いに対向する第１面と第２面とを有するガラス基板の前記第２面側に第１支持体を設ける第１工程と、前記第１支持体が設けられたガラス基板にレーザを照射し、前記ガラス基板に第１改質部を形成する第２工程と、前記第１面側に第１導体層を形成する第３工程と、前記ガラス基板から前記第１支持体を剥離する際の起点を形成する第４工程と、前記起点を用いて前記ガラス基板から前記第１支持体を分離する第５工程と、前記第１改質部にエッチング処理を行い、前記ガラス基板に貫通孔を形成する第６工程と、を備える。【選択図】図９
Inventors:
Tsukasa Nakamura
Application Number:
JP2022170697A
Publication Date:
May 10, 2024
Filing Date:
October 25, 2022
Export Citation:
Assignee:
TOPPAN Holdings Co., Ltd.
International Classes:
H05K3/46; C03C15/00; C03C23/00; H05K1/03
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Suzue Patent General Office
Masatoshi Kurata
Tadashi Inoue
Shigeru Iino
Mototsugu Morikawa
Naoyuki Yato
Ikuji Otaku
Masatoshi Kurata
Tadashi Inoue
Shigeru Iino
Mototsugu Morikawa
Naoyuki Yato
Ikuji Otaku
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