Title:
レーザービームの線状焦点を用いて基板内に導入されるエネルギー分布を制御するための方法および基板
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024516808
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、少なくとも１つのレーザービームの少なくとも１つの線状焦点を用いて基板内に導入されるエネルギー分布を制御するための方法、および基板に関する。
Inventors:
Andreas Oatner
Darphite Zor
Andreas Koglebauer
Jens Ulrich Thomas
Fabian Wagner
Oliver Zohr
Darphite Zor
Andreas Koglebauer
Jens Ulrich Thomas
Fabian Wagner
Oliver Zohr
Application Number:
JP2023564524A
Publication Date:
April 17, 2024
Filing Date:
April 21, 2022
Export Citation:
Assignee:
SCHOTT AG
International Classes:
B23K26/382; B23K26/066; B23K26/073; B23K26/386; B23K26/55; C03B33/09
Attorney, Agent or Firm:
Einzel Felix-Reinhard
Taku Morita
Junichi Maekawa
Hideo Nagashima
Ueshima class
Taku Morita
Junichi Maekawa
Hideo Nagashima
Ueshima class