Title:
フリーハンギングまたはフリースタンディングのマイクロチャネルを含む微小電気機械システム部品またはマイクロ流体部品
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022549277
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、フリーハンギングまたはフリースタンディングのマイクロチャネル（１）を備える微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）部品またはマイクロ流体部品、並びにこのようなマイクロチャネルの製造方法、並びにこのような微小電気機械システム部品またはマイクロ流体部品を備える流量センサ、例えば熱式流量センサまたはコリオリ式流量センサ、圧力センサまたはマルチパラメータセンサ、バルブ、ポンプまたはマイクロヒータに関するものである。ＭＥＭＳ部品は、その利点を維持しながら、チャネル径を大きくすることによって、例えばマイクロコリオリ式質量流量計の流量範囲を拡大し、および／または圧力損失を減少させることを可能にする。【選択図】図７Ｄ
Inventors:
Spare boom, wooter
Gronestain, Jarno
Van Putten, Jack Hermann
De Bua, Maint Yere
Wiegeling, Remco John
Feldkamp, Henk-Willem
Yu, Chi-hee
Yaris Bowei, Mahdi
Rodriguez Holguin, Miguel A.
Retters, Joost Konrad
Gronestain, Jarno
Van Putten, Jack Hermann
De Bua, Maint Yere
Wiegeling, Remco John
Feldkamp, Henk-Willem
Yu, Chi-hee
Yaris Bowei, Mahdi
Rodriguez Holguin, Miguel A.
Retters, Joost Konrad
Application Number:
JP2022518286A
Publication Date:
November 24, 2022
Filing Date:
September 18, 2020
Export Citation:
Assignee:
BERKIN B.V.
International Classes:
B81B1/00; B81C1/00; G01F1/84
Attorney, Agent or Firm:
Morishita Kenki