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Title:
高アスペクト比構造の測定のための中赤外分光法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022523054
Kind Code:
A
Abstract:
中赤外波長における半導体構造の高スループット分光測定を実行するための方法およびシステムが本明細書において提示される。フーリエ変換赤外（ＦＴＩＲ）分光計は、２．５マイクロメートルから１２マイクロメートルの波長範囲に及ぶ１つ以上の測定チャネルを含む。ＦＴＩＲ分光計は、複数の異なる入射角、方位角、異なる波長範囲、異なる偏光状態、またはこれらの任意の組み合わせで対象を測定する。いくつかの実施形態では、高い輝度および小さい照明スポットサイズを達成するために、照明光がレーザ維持プラズマ（ＬＳＰ）光源によって提供される。いくつかの実施形態では、ＦＴＩＲ測定は、ウェハの表面に垂直な方向から軸外で実行される。いくつかの実施形態では、スターリング冷却器がＦＴＩＲ分光計の検出器から熱を取り出す。別の態様では、１つ以上の分光計測定チャネルによって実行される測定が、高アスペクト比構造の特徴を決定するために、中赤外ＦＴＩＲ分光計チャネルによって実行される測定と組み合わせられる。

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Inventors:
One David Wai
Krishnan Shanker
Zhang Guoron Bella
Application Number:
JP2021543260A
Publication Date:
April 21, 2022
Filing Date:
January 23, 2020
Export Citation:
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Assignee:
KLA Corporation
International Classes:
G01N21/3563; H01L21/66
Domestic Patent References:
JP2018526614A2018-09-13
JP2018515875A2018-06-14
JP2017511880A2017-04-27
JPH05306910A1993-11-19
JP2017524136A2017-08-24
Foreign References:
US20180259553A12018-09-13
US20180088040A12018-03-29
Other References:
ADELE SASSELLA ET AL.: "Oxygen precipitate mapping in silicon using micro FTIR spectroscopy", SPIE PROCEEDINGS, vol. 1575, JPN6023006985, 1991, pages 562 - 563, ISSN: 0005071407
T. STEINLE ET AL.: "Mid-infrared Fourier-transform spectroscopy with a high-brilliancetunable laser source: investigatin", OPTICS EXPRESS, vol. 23, no. 9, JPN6023006984, 21 April 2015 (2015-04-21), pages 11105 - 11113, ISSN: 0005071408
Attorney, Agent or Firm:
Patent Corporation yki International Patent Office



 
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