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Title:
ムービングマグネット形リニアスライダ
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2005122368
Kind Code:
A1
Abstract:
リニアモータ駆動時の微振動の影響を最小限に小さくし、サーボゲインを上がりやすくし、速度リプルも小さくできるムービングマグネットリニアスライダを提供する。ムービングマグネット形リニアスライダにおいて、テーブル(3)を往復動させるリニアモータと、テーブル(3)と固定ベース(1)の相対位置を検出する検出手段より構成され、該リニアモータは、固定ベース(1)に固定された電機子コアに多相の電機子巻線を巻装してなる電機子(2)と、テーブル(3)の下面に鉛直方向に取り付けられ、かつ、リニアガイドの内側面と電機子(2)の外側面との間に空隙を介して配置された界磁用永久磁石(4)で構成される。また、該検出手段は、テーブル(3)の下面側に固定したリニアスケール部(5)と、電機子(2)の上面側に取り付けたセンサヘッド部(6)からなり、該検出手段の中心軸を電機子(2)の推力中心軸G−Gに略一致するようにしてある。

Inventors:
Kyosuke Miyamoto
Application Number:
JP2006514425A
Publication Date:
April 10, 2008
Filing Date:
May 12, 2005
Export Citation:
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Assignee:
Yaskawa Electric Co., Ltd.
International Classes:
H02K41/03; G01D5/12; H02K41/02; H02P7/00; H02P25/06; H02K11/00
Domestic Patent References:
JP2002034231A2002-01-31
JP2001086727A2001-03-30
JPH10127078A1998-05-15