Title:
セラミックベースプレートを備えるマルチプレート静電チャック
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024069333
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】基板処理システムのための静電チャック及びその基板処理システムを提供する。【解決手段】静電チャック２００は、基板に静電気的にクランプするように構成され、セラミックで形成されたトッププレート２０２と、トッププレートの下方に配置された中間層２０４と、中間層の下方に配置され、セラミックで形成されたベースプレート２０６と、を備える。中間層は、トッププレートをベースプレートに結合する。【選択図】図２
Inventors:
Wang Feng
Gaff Keith
Kimball christopher
Gaff Keith
Kimball christopher
Application Number:
JP2024034459A
Publication Date:
May 21, 2024
Filing Date:
March 07, 2024
Export Citation:
Assignee:
LAM RESEARCH CORPORATION
International Classes:
H01L21/683; C23C14/50; C23C16/458; H01L21/3065; H01L21/31
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Meisei International Patent Office