Title:
酸素センサ及びそれを具備する微小機械電気素子
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024074981
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】被検ガス中の酸素濃度の測定が可能なセンサを提供すること。【解決手段】酸素センサは、固体電解質膜と、該固体電解質膜の各面に配置された第１電極及び第２電極とを備えた膜電極接合体を具備する。第２電極と対向するように電極対向部材が配置される。固体電解質膜と前記部材との間に、第２電極を囲繞するように設けた壁部によって基準酸素濃度空間が画成される。前記部材又は前記壁部が酸素透過可能な材料で構成されている。測定対象雰囲気に第１電極が臨むように第１電極を配置するとともに、第２電極を電源の正極に接続し且つ第１電極を電源の負極に接続して、基準酸素濃度空間内の酸素濃度を高めた状態下におき、第１電極及び第２電極の電源への接続を解除するとともに、更に第１電極と第２電極との間に生じた起電力を測定することで、第１電極が臨む測定対象雰囲気中の酸素濃度を測定する。【選択図】図３
Inventors:
Kohei Kato
Shingo Ide
Oyama Shunharu
Yasuhiro Seto
Isamu Yashima
Kengo Shimanoe
Ken Watanabe
Koichi Suematsu
Shingo Ide
Oyama Shunharu
Yasuhiro Seto
Isamu Yashima
Kengo Shimanoe
Ken Watanabe
Koichi Suematsu
Application Number:
JP2024063710A
Publication Date:
May 31, 2024
Filing Date:
April 11, 2024
Export Citation:
Assignee:
Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.
Kyushu University
Kyushu University
International Classes:
G01N27/407
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Showa International Patent Office