Title:
エッチング用感光性樹脂組成物およびエッチング方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024038567
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】厚みが１００μｍ以上の銅板をスプレーエッチングする際に形成されるレジストパターン端部の庇が割れにくいレジスト膜を得ることができるエッチング用感光性樹脂組成物、および該感光性樹脂組成物を用いたエッチング方法を提供する【解決手段】（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）光重合開始剤、および（Ｃ）メタクリレート化合物を少なくとも含有する感光性樹脂組成物であって、該（Ｃ）メタクリレート化合物として特定の化合物を、前記（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）光重合開始剤、および（Ｃ）メタクリレート化合物の合計含有量に対して特定の範囲で含有することを特徴とする、エッチング用感光性樹脂組成物および該エッチング用感光性樹脂組成物を用いたエッチング方法。【選択図】なし
Inventors:
Akira Ito
Yuko Nakamura
Takashi Miyazaki
Yuko Nakamura
Takashi Miyazaki
Application Number:
JP2022142664A
Publication Date:
March 21, 2024
Filing Date:
September 08, 2022
Export Citation:
Assignee:
Mitsubishi Paper Mills Co., Ltd.
International Classes:
G03F7/027; C08F220/14; H05K3/06