Title:
ハイブリッド・ゲート構造を有するパワー・デバイス
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023530711
Kind Code:
A
Abstract:
縦型電界効果デバイスは、ボディと、ゲート絶縁膜と、ゲート電極とを有し、上記ゲート電極は、上記ボディの上面から上記ボディの中へと延びそして第１のソース領域と第２のソース領域との間に位置するトレンチ内にある。第１及び第２の領域が、上記ゲート電極と縦方向に重なる。第１及び第２のチャネル領域は、上記第１及び第２のソース領域内に形成された各々のチャネルが、上記第１及び第２のチャネル領域が上記ゲート電極の底部と横方向に重なる水平セグメントを有するように、上記ゲート電極の底部と横方向に重なる。もう１つの実施例では、上記第１及び第２のチャネル領域はさらに、上記第１及び第２のソース領域内に形成された各々のチャネルがまた、上記第１及び第２のチャネル領域が上記ゲート電極と縦方向に重なる垂直セグメントも有するように、上記ゲート電極と縦方向にも重なる。
Inventors:
Lichtenvarner, Daniel, Jenner
islam, name
islam, name
Application Number:
JP2022577496A
Publication Date:
July 19, 2023
Filing Date:
June 15, 2021
Export Citation:
Assignee:
WOLFSPEED,INC.
International Classes:
H01L29/78; H01L29/12; H01L29/739
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Asamura Patent Office