Title:
試料加工用ホルダ及び試料加工方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024011578
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】試料加工過程において、ホルダ交換を不要にする。【解決手段】ホルダ１６は、一次試料を保持する第１サブホルダ２４と、支持部材を保持する第２サブホルダ２６と、を有する。第１試料加工装置内にホルダ１６が設置された第１状態において、一次試料が加工される。続いて、第２試料加工装置内にホルダ１６が設置された第２状態において、一次試料から二次試料が作製された上で、二次試料が支持部材上に移され、二次試料から薄膜試料が作製される。【選択図】図５
Inventors:
Yoshikazu Sasaki
Tomohisa Fukuda
Tomohiro Sampei
General Sakuta
Misumi Kadoi
Tatsuto Kimura
Tomohisa Fukuda
Tomohiro Sampei
General Sakuta
Misumi Kadoi
Tatsuto Kimura
Application Number:
JP2022113678A
Publication Date:
January 25, 2024
Filing Date:
July 15, 2022
Export Citation:
Assignee:
JEOL Ltd.
International Classes:
H01J37/20; H01J37/31; H01J37/317
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation YKI International Patent Office