Title:
マルチセクションの集光モジュールを備えた短波長放射線源
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023540119
Kind Code:
A
Abstract:
放射線源は，放射プラズマを有する真空チャンバ内に配置される光学集光器を備え，好ましくは複数の同一のミラーからなる光学集光器に至る短波長放射線のデブリフリーの共心ビームを出力するように配置された少なくとも２つのケーシングを含むデブリ軽減手段をさらに備える集光モジュールを含む。各ケーシングの外側にはケーシングの内側に磁場を形成する永久磁石があり，デブリ粒子の荷電部分を軽減し，短波長放射線のデブリフリーの共心ビームを提供する。その他のデブリ軽減技術もさらに使用される。好ましくは，プラズマは，回転ターゲットアセンブリによってレーザービームの焦点領域に供給される液体金属ターゲットのレーザー生成プラズマである。この発明の技術的結果は，大きな，好ましくは０．２５ｓｒ以上の収集立体角を有する，短波長放射線の非常に強力な高輝度のデブリフリーの放射線源の作成である。
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Inventors:
Vinoquadov Alexandre Julievic
Ivanov Vladimir Vitalievic
Gruskov Genies Alexandrovich
Elwee Samil
Koseleb Konstantin Nikolaevich
Krivkoritov Mikhail Sergevich
Cliftun Vladimir Mikhailovich
Rashi Alexander Andreyevich
Medvedev Vyacheslav Valerievic
Sidernikov Yuri Viktrovic
Christophorov Oleg Borisovich
Yakushev Oleg Felixovich
Ivanov Vladimir Vitalievic
Gruskov Genies Alexandrovich
Elwee Samil
Koseleb Konstantin Nikolaevich
Krivkoritov Mikhail Sergevich
Cliftun Vladimir Mikhailovich
Rashi Alexander Andreyevich
Medvedev Vyacheslav Valerievic
Sidernikov Yuri Viktrovic
Christophorov Oleg Borisovich
Yakushev Oleg Felixovich
Application Number:
JP2023514896A
Publication Date:
September 21, 2023
Filing Date:
August 26, 2021
Export Citation:
Assignee:
AIST E-Q B.V.
IST EQ Group Holding B.V.
IST EQ Group Holding B.V.
International Classes:
G03F7/20; H05G2/00; H05H1/24
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Tokyo UIT International Patent