Title:
マルチウエハ空間の単一移送チャンバのファセット
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022549271
Kind Code:
A
Abstract:
本開示の実施形態は、ロードロックチャンバ及びロードロックチャンバを使用する方法を対象とする。ロードロックチャンバは、中間セクション、中間セクションに連結される上側セクション、及び中間セクションに連結される下側セクションを含む。中間セクションの外面上のファセット内のスリットバルブが、ロードロックの外側から中間空間にアクセスするための開口部を提供する。【選択図】図２
Inventors:
Weaver, William Tea.
Constant, Andrew J.
Assaf, Shay
Newman, Jacob
Constant, Andrew J.
Assaf, Shay
Newman, Jacob
Application Number:
JP2022518254A
Publication Date:
November 24, 2022
Filing Date:
September 22, 2020
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
H01L21/677
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation